Ключевые слова: микроскоп, оптическая микроскопия, измерения, отражённый свет, светлое поле, темное поле, проходящий свет, рельеф поверхности, перепад высот, микроэлектроника, микромеханика, поверхность, шероховатость, технология, мембрана, дефект.
Аннотация
Продемонстрированы возможности оптической микроскопии как для предварительного, так и для комплексного анализа структур, используемых преимущественно в микроэлектронике и микромеханике. Даны конкретные примеры применения оптической микроскопии для качественного и количественного анализа, отработки технологических процессов, контроля дефектов, анализа рельефа поверхности, определения параметров структур. Измерения поверхности выполнены в отражённом и проходящем свете, с использованием режимов светлого и темного поля.
Keywords: microscope, optical microscopy, mearurement, reflected light, bright field, dark field, transmitted light, episcopic illumination, diascopic illumination, surface relief, step height microelectronics, micromechanics, surface, roughness, technology, membrane, defect.
Abstract
The possibilities of optical microscopy for preliminary and complex analysis of structures, which are used mainly in microelectronics and micromechanics, are demonstrated. Specific examples of the use of optical microscopy for qualitative and quantitative analysis, development of technological processes, control of defects, analysis of surface relief, determination of the parameters of structures are given. Surface measurements are performed in reflected and transmitted light, using bright and dark field modes.
[ Full text ]