Аннотация
Разработана новая методика определения концентрационного профиля и локального атомного строения металлических многослойных наногетероструктур с разрешением по глубине от поверхности образца. Эффективность предлагаемой методики подтверждается модельными расчётами, выполненными для трёхслойной структуры Cr/Fe/Cr. Получены первые экспериментальные результаты по определению концентрационного профиля поверхностного слоя тонких эпитаксиальных плёнок Cr, нанесённых на подложку Al2O3.